KREMNIY SIRTIDA KISLOROD VA SUV MOLEKULALARINING ADSORBSIYA JARAYONLARINI ZICHLIK FUNKSIONAL NAZARIYASI ASOSIDA TADQIQ ETISH
Abstract
Annotatsiya. Mazkur maqolada kremniy sirtida kislorod va suv molekulalarining adsorbsiya jarayonlari zichlik funksional nazariyasi (Density Functional Theory — DFT) asosida nazariy jihatdan tahlil qilinadi. Tadqiqotda kremniy sirtining atom va elektron tuzilishi, molekulalarning adsorbsiya mexanizmlari, energetik barqarorlik hamda sirtning elektron xossalaridagi o‘zgarishlar o‘rganiladi. Kislorod va suv molekulalarining Si(100) kristallografik sirtidagi o‘zaro ta’siri fizikaviy va kimyoviy adsorbsiya nuqtayi nazaridan yoritiladi. Mavjud ilmiy tadqiqotlar va O‘zbekistonda nashr etilgan yarimo‘tkazgichlar fizikasi bo‘yicha adabiyotlar asosida sirt oksidlanishi, gidroksillanishi va elektron zichlikning qayta taqsimlanishi jarayonlari tahlil qilinadi. Tadqiqot natijalari DFT metodologiyasi kremniy sirtining kimyoviy faolligini tushuntirish, mikroelektron qurilmalarning barqarorligini oshirish va yangi sensor materiallarini loyihalashda muhim nazariy vosita ekanligini ko‘rsatadi.
References
1. Teshaboyev A., Zaynobidinov S., Vlasov S. I., Karimov I. N., Abduazimov V. A. Yarimo‘tkazgichlar sirti fizikasi. — Toshkent: ILM ZIYO, 2010. — 168 b. https://jdpu.uz/wp-content/uploads/2020/08/Yarim-otkazgichlilar-sirti-fizikasi.-Тешабоев.pdf
2. Teshaboyev A., Zaynobidinov S. va boshqalar. Yarimo‘tkazgichlar sirti fizikasi. — Urganch davlat universiteti elektron kutubxonasi, bibliografik katalog. https://akbt.urdu.uz/uz/books/5386
3. Hohenberg P., Kohn W. Inhomogeneous Electron Gas // Physical Review. — 1964. — Vol. 136. — P. B864–B871. https://doi.org/10.1103/PhysRev.136.B864
4. Kohn W., Sham L. J. Self-Consistent Equations Including Exchange and Correlation Effects // Physical Review. — 1965. — Vol. 140. — P. A1133–A1138. https://doi.org/10.1103/PhysRev.140.A1133
5. Perdew J. P., Burke K., Ernzerhof M. Generalized Gradient Approximation Made Simple // Physical Review Letters. — 1996. — Vol. 77. — P. 3865–3868. https://doi.org/10.1103/PhysRevLett.77.3865
6. Estève A., Djafari Rouhani M., Estève D. First Principle Calculation of Oxygen Adsorption on a (100) Silicon Surface — First Stages of the Thermal Oxidation // Computational Materials Science. — 1998. — Vol. 10. — P. 94–98. https://doi.org/10.1016/S0927-0256(97)00171-7
7. Jung Y., Choi C. H., Gordon M. S. Adsorption of Water on the Si(100) Surface: An Ab Initio and QM/MM Cluster Study // The Journal of Physical Chemistry B. — 2001. — Vol. 105, No. 18. — P. 4039–4044. https://doi.org/10.1021/jp003434p
8. Katırcıoğlu Ş., Salman S. A., Erkoç Ş. Adsorption of Water on Single and Double Layer Stepped Si(100) Surfaces // Surface Review and Letters. — 2001. https://doi.org/10.1142/S0218625X01001087
